質量氣體流量計的基本原理是吸收熱量的速度與質量流量直接相關，其傳感器由兩個基準電阻值（PixelRTD）組成。一種是T1質量速度傳感器，一種是T2溫度傳感器，能夠丈量氣體的溫度改變。將兩個RTD放入被測氣體中，其中T1傳感器被加熱到氣體溫度上一個恒溫差。

    T2傳感器則用來感應被測氣體的溫度。當氣體質量流速添加，氣流帶走更多熱量時，T1傳感器的溫度下降，為了堅持T1、T2恒定的溫差，需求添加T1傳感器的加熱功率?；诮鹗隙傻臒嵝?。

    當運動的氣體分子撞擊熱電阻時，它會吸走熱量，跟著流量的添加，觸摸熱電阻的分子也會添加，這種吸熱進程與氣體的分子數、熱學特性和活動特性有關。HQRS氣體質量流量計的應用壓縮機空氣流量及分配。進程氣體，例如二氧化碳，氬氣，氮，氧的流量及其散布。